具有不同孔径尺寸和孔隙率的多孔硅在不同的MEMS中可作为功能结构层和牺牲层.简要介绍了多孔硅的结构和制备方法;与体微机械和表面......

以微阵列电极为基础的电化学生物传感器近几年来发展迅速,是实现生物传感器微型化和集成化的一个重要途径.介绍了微阵列电极以及作......

利用电流变液体阻尼阀效应设计了原型电流变柔性微致动器，建立了相应的力学模型，进行了柔性微致动器过程实验研究和三维致动过程的计......

目的 探讨立体定向下丘脑腹中间核（Vim核）毁损术治疗特发性震颤（essential tremor，ET）的疗效及相关因素。方法 回顾性分析微电极导向下......

针对微电子交流计数轨道电路主套不能可靠转换到副套,造成信号设备故障的现状,提出了利用单片机技术解决问题的方法,即MPF信息传输......

扼要介绍微电子机械系统的特征，在军事装备和航空航天系统中的应用及其各种封装技术。...

论述了嵌入式系统设计的方法,着重于软硬功能的划分;分析了经典设计方法的缺陷,给出了克服缺陷的方案,其主要优点是软硬件并行设计......

目的分析评估微电极导向内侧苍白球腹后部毁损术对帕金森病(PD)合并轻中度抑郁的疗效,探讨其机制.方法PD合并轻、中度抑郁患者36例......

At present, microelectro mechanical systems (MEMS) sensors have gradually replaced traditional mechanical sensors and ar......

本文采用扫描振动微电极和局部电化学交流阻抗谱测试了近中性pH环境中X70管线钢平滑试样及裂纹尖端发生的局部溶解电化学行为，用来......